近日，耀途投资组合无锡星微科技有限公司（以下简称“星微科技”）完成数千万A+轮投资，由建发新兴投资、毅达资本、润创投资共同投资。此前，耀途资本领投星微科技近亿元A轮融资（阅读更多）。

星微科技成立于2015年，主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品；2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发；2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂；2020年起，公司的精密运动平台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。

“半导体设备由成千上万的零部件组成，这些零部件的性能、精度，直接影响着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上升级迭代的关键要素。”星微科技董事长陆敏杰介绍，公司从一开始就选择超精密运动平台和晶圆传输设备两大核心产品，助力被“卡脖子”的半导体设备的国产化。

其中，晶圆传输设备，用于晶圆在各个半导体设备间的传输工作，是所有半导体制程、检测设备都必不可少的关键组成部分。星微科技目前已经实现了核心部件的自主化，随着国内半导体设备零部件国产替代加速，量产后相对海外品牌，价格、交期、服务等优势将会凸显。

超精密运动平台控制系统，是晶圆光刻、缺陷检测、芯片封装等设备的核心模块，主要职能是承载晶圆、芯片按照指定的运动轨迹做高速、高精度定位等一系列极致运动。相较于海外厂家大多采取的直销或者代理商模式，星微科技的高精度运动平台具有性价比更高、支持定制化、交货周期更短等优势。

半导体领域是耀途资本长期关注领域，半导体行业代表性投资项目包括，壁仞科技、瀚博半导体、伏达半导体、云豹智能、星宸科技、旗芯微、爱芯元智、得一微电子、Hailo、Vayyar、国芯科技、速通半导体、纵慧芯光、锐思智芯、昕感科技、万有引力、镭昱半导体、电科星拓、进迭时空、星微科技、赛勒科技等，其中多数为早期投资项目，并已成长为细分领域的领军企业。